Hochschulschrift
Die Charakterisierung vergrabener Schichten nach umdotierender Ionenimplantation in Silizium im Hinblick auf das "Buried channel charge coupled device"
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Maße
-
30 cm
- Umfang
-
261 S.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
graph. Darst.
Zugl.: Berlin, Techn. Univ., Diss.
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Berlin-Wannsee
- (wer)
-
Hahn-Meitner-Inst. für Kernforschung
- (wann)
-
1981
- Urheber
-
Bach, Heinz-Gunter
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
11.06.2025, 13:51 MESZ
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Bach, Heinz-Gunter
- Hahn-Meitner-Inst. für Kernforschung
Entstanden
- 1981
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