Hochschulschrift

Optische Charakterisierung von Silizium nach Ionenimplantation

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Maße
30 cm
Umfang
331 Bl.
Sprache
Deutsch
Anmerkungen
Ill., graph. Darst.
Dortmund, Univ., Habil.-Schr., 1983 (Nicht f.d. Austausch)

Schlagwort
Silizium
Ionenimplantation
Silicium
Ionenimplantation

Urheber
Heidemann, Klaus F.

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Rechteinformation
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Letzte Aktualisierung
11.06.2025, 14:29 MESZ

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Objekttyp

  • Hochschulschrift

Beteiligte

  • Heidemann, Klaus F.

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