Hochschulschrift
Synthese und Erprobung neuer Precursoren für die CVD-Abscheidung von III/V-Halbleitern
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Dimensions
-
21 cm
- Extent
-
104 S.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
graph. Darst.
Köln, Univ., Diss., 1996
- Keyword
-
Drei-Fünf-Halbleiter
CVD-Verfahren
Ausgangsmaterial
Chemische Synthese
- Creator
- Table of contents
- Rights
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
11.06.2025, 1:39 PM CEST
Data provider
This object is provided by:
Deutsche Nationalbibliothek. If you have any questions about the object, please contact the data provider.
Deutsche Nationalbibliothek. If you have any questions about the object, please contact the data provider.
Object type
- Hochschulschrift
Associated
Other Objects (12)
Synthese neuartiger Single-Source-Precursoren für die Abscheidung piezoelektrischer Bleizirkonattitanat(PZT)-Schichten mittels chemischer Gasphasenabscheidung (CVD)
Synthese neuartiger Single-Source-Precursoren für die Abscheidung piezoelektrischer Bleizirkonattitanat(PZT)-Schichten mittels chemischer Gasphasenabscheidung (CVD)
Kupfer- und Ruthenium-Precursoren: Synthese, Charakterisierung und deren Verwendung zur Abscheidung metallischer Schichten nach dem CVD-Verfahren
Kupfer- und Ruthenium-Precursoren : Synthese, Charakterisierung und deren Verwendung zur Abscheidung metallischer Schichten nach dem CVD-Verfahren
Versuche zur Synthese potentieller Precursoren für die CVD-Abscheidung von Bornitrid, Siliciumnitrid sowie Chrom-, Molybdän- und Wolframsiliciden
Fehlangepasste Epitaxie von III/V-Halbleitern
Untersuchungen zur Thermolyse der CVD-Precursoren Methyltrichlorsilan und Trimethoxyboran
Untersuchungen zur Thermolyse der CVD-Precursoren Methyltrichlorsilan und Trimethoxyboran
Abscheidung von Metallverbindungen und Germanium aus metallorganischen Precursoren
Magnetooptische Untersuchungen an ferromagnetischen III-V-Halbleitern
Beiträge zur Heterogenkatalyse an III-V-Halbleitern
Kernresonanzuntersuchungen zur schnellen Diffusion in ausgewählten III-V-Halbleitern [Halbleitern]
Synthese neuartiger Single-Source-Precursoren für die Abscheidung piezoelektrischer Bleizirkonattitanat(PZT)-Schichten mittels chemischer Gasphasenabscheidung (CVD)
Synthese neuartiger Single-Source-Precursoren für die Abscheidung piezoelektrischer Bleizirkonattitanat(PZT)-Schichten mittels chemischer Gasphasenabscheidung (CVD)
Kupfer- und Ruthenium-Precursoren: Synthese, Charakterisierung und deren Verwendung zur Abscheidung metallischer Schichten nach dem CVD-Verfahren
Kupfer- und Ruthenium-Precursoren : Synthese, Charakterisierung und deren Verwendung zur Abscheidung metallischer Schichten nach dem CVD-Verfahren
Versuche zur Synthese potentieller Precursoren für die CVD-Abscheidung von Bornitrid, Siliciumnitrid sowie Chrom-, Molybdän- und Wolframsiliciden
Fehlangepasste Epitaxie von III/V-Halbleitern
Untersuchungen zur Thermolyse der CVD-Precursoren Methyltrichlorsilan und Trimethoxyboran
Untersuchungen zur Thermolyse der CVD-Precursoren Methyltrichlorsilan und Trimethoxyboran
Abscheidung von Metallverbindungen und Germanium aus metallorganischen Precursoren
Magnetooptische Untersuchungen an ferromagnetischen III-V-Halbleitern
Beiträge zur Heterogenkatalyse an III-V-Halbleitern
Kernresonanzuntersuchungen zur schnellen Diffusion in ausgewählten III-V-Halbleitern [Halbleitern]
Synthese neuartiger Single-Source-Precursoren für die Abscheidung piezoelektrischer Bleizirkonattitanat(PZT)-Schichten mittels chemischer Gasphasenabscheidung (CVD)
Synthese neuartiger Single-Source-Precursoren für die Abscheidung piezoelektrischer Bleizirkonattitanat(PZT)-Schichten mittels chemischer Gasphasenabscheidung (CVD)
Kupfer- und Ruthenium-Precursoren: Synthese, Charakterisierung und deren Verwendung zur Abscheidung metallischer Schichten nach dem CVD-Verfahren
Kupfer- und Ruthenium-Precursoren : Synthese, Charakterisierung und deren Verwendung zur Abscheidung metallischer Schichten nach dem CVD-Verfahren
Versuche zur Synthese potentieller Precursoren für die CVD-Abscheidung von Bornitrid, Siliciumnitrid sowie Chrom-, Molybdän- und Wolframsiliciden
Fehlangepasste Epitaxie von III/V-Halbleitern
Untersuchungen zur Thermolyse der CVD-Precursoren Methyltrichlorsilan und Trimethoxyboran
Untersuchungen zur Thermolyse der CVD-Precursoren Methyltrichlorsilan und Trimethoxyboran
Abscheidung von Metallverbindungen und Germanium aus metallorganischen Precursoren
Magnetooptische Untersuchungen an ferromagnetischen III-V-Halbleitern
Beiträge zur Heterogenkatalyse an III-V-Halbleitern