Synthese und Charakterisierung von neuartigen Halogenalanderivaten und deren Anwendung in der chemischen Gasphasenabscheidung (CVD)

Alternative title
Synthesis and characterization of novel halogenalane-derivatives and their application in chemical vapor deposition (CVD)
Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Extent
Online-Ressource
Language
Deutsch
Notes
Saarbrücken, Universität des Saarlandes, Dissertation, 2012

Keyword
Chemische Synthese
CVD-Verfahren
Kristallstruktur
Ausgangsmaterial

Event
Veröffentlichung
(where)
Saarbrücken
(who)
Universität des Saarlandes
(when)
2012
Creator
Contributor
Veith, Michael
INM - Leibniz-Institut für Neue Materialien

DOI
10.22028/D291-22815
URN
urn:nbn:de:bsz:291:415-7920
Rights
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Last update
14.08.2025, 10:58 AM CEST

Data provider

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Time of origin

  • 2012

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