Monografie
Entwicklung und Untersuchung eines mikromechanischen Beschleunigungssensors mit einer Differential-Tunnelstrecke
- Ausgabe
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Als Ms. gedr.
- Sprache
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Deutsch
- Umfang
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XV, 129 S.
- Anmerkungen
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Zugl.: Berlin, Techn. Univ., Diss., 1995
- ISBN
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978-3-18-352008-4
- Identifier
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946810494
- Reihe
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Fortschritt-Berichte VDI : Reihe 08, Mess-, Steuerungs- und Regelungstechnik; Nr. 520
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
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- Letzte Aktualisierung
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15.04.2024, 08:49 MESZ
Objekttyp
- Monografie