Monografie

Entwicklung und Untersuchung eines mikromechanischen Beschleunigungssensors mit einer Differential-Tunnelstrecke

Ausgabe
Als Ms. gedr.
Sprache
Deutsch
Umfang
XV, 129 S.
Anmerkungen
Zugl.: Berlin, Techn. Univ., Diss., 1995
ISBN
978-3-18-352008-4
Identifier
946810494

Reihe
Fortschritt-Berichte VDI : Reihe 08, Mess-, Steuerungs- und Regelungstechnik; Nr. 520

Thema
Beschleunigungssensor ; Tunnelkontakt ; Hochschulschrift

Beteiligte Personen und Organisationen

Inhaltsverzeichnis
Rechteinformation
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Letzte Aktualisierung
15.04.2024, 08:49 MESZ

Objekttyp


  • Monografie

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