Monografie

Entwicklung und Untersuchung eines mikromechanischen Beschleunigungssensors mit einer Differential-Tunnelstrecke

Edition
Als Ms. gedr.
Language
Deutsch
Extent
XV, 129 S.
Notes
Zugl.: Berlin, Techn. Univ., Diss., 1995
ISBN
978-3-18-352008-4
Identifier
946810494

Series
Fortschritt-Berichte VDI : Reihe 08, Mess-, Steuerungs- und Regelungstechnik; Nr. 520

Subject
Beschleunigungssensor ; Tunnelkontakt ; Hochschulschrift

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Last update
15.04.2024, 8:49 AM CEST

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