Monografie
Entwicklung und Untersuchung eines mikromechanischen Beschleunigungssensors mit einer Differential-Tunnelstrecke
- Edition
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Als Ms. gedr.
- Language
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Deutsch
- Extent
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XV, 129 S.
- Notes
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Zugl.: Berlin, Techn. Univ., Diss., 1995
- ISBN
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978-3-18-352008-4
- Identifier
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946810494
- Series
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Fortschritt-Berichte VDI : Reihe 08, Mess-, Steuerungs- und Regelungstechnik; Nr. 520
- Table of contents
- Rights
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- Last update
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15.04.2024, 8:49 AM CEST
Object type
- Monografie