Monografie

Ein MEMS-Vakuumsensor nach dem Reibungsprinzip

Language
Deutsch
Extent
186 S.
Notes
Zugl.: Chemnitz, Techn. Univ., Diss., 2009
ISBN
978-3-941003-04-0
Identifier
996520090

Subject
Vakuumsensor ; MEMS ; Geräteentwicklung ; Sensor; Vakuummessung; Hochschulschrift

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Last update
16.08.2023, 6:33 PM CEST

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