Hochschulschrift
Eine Nanopositioniervorrichtung mit integrierten piezoresistiven Sensoren für Hochgeschwindigkeits-Rastersondenmikroskopie-Anwendungen
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783863600334
- Dimensions
-
24 cm, 250 g
- Extent
-
XII, 117 S.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Ilmenau, Techn. Univ., Diss., 2011
- Keyword
-
Positionierantrieb
Nanometerbereich
Integrierter Sensor
Piezowiderstandseffekt
Rastersondenmikroskopie
Zeitauflösung
Hochgeschwindigkeit
Positionierantrieb / Nanometerbereich / Integrierter Sensor / Piezowiderstandseffekt / Rastersondenmikroskopie / Zeitauflösung
Präzisionsmaschine / Messeinrichtung / Positionierantrieb / Nanotechnologie / Konstruktion / Geräteentwicklung / Rastersondenmikroskopie / Hochschulschrift / Online-Publikation
- Table of contents
- Rights
-
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- Last update
-
11.06.2025, 2:19 PM CEST
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Guliyev, Elshad
- Univ.-Verl.
Time of origin
- 2012
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