Monografie
Eine Nanopositioniervorrichtung mit integrierten piezoresistiven Sensoren für Hochgeschwindigkeits-Rastersondenmikroskopie-Anwendungen
- Sprache
-
Deutsch
- Umfang
-
XII, 117 S.
- Anmerkungen
-
Zugl.: Ilmenau, Techn. Univ., Diss., 2011
- ISBN
-
978-3-86360-033-4
- Identifier
-
1025844505
Thema
Positionierantrieb ; Nanometerbereich ; Integrierter Sensor ; Piezowiderstandseffekt ; Rastersondenmikroskopie ; Zeitauflösung ; Hochgeschwindigkeit ; Positionierantrieb / Nanometerbereich / Integrierter Sensor / Piezowiderstandseffekt / Rastersondenmikroskopie / Zeitauflösung; Präzisionsmaschine / Messeinrichtung / Positionierantrieb / Nanotechnologie / Konstruktion / Geräteentwicklung / Rastersondenmikroskopie / Hochschulschrift / Online-Publikation; Hochschulschrift
Beteiligte Personen und Organisationen
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf Teile des Objekts ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
15.04.2024, 08:54 MESZ
Objekttyp
- Monografie
Beteiligte
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