Hochschulschrift
Eine Nanopositioniervorrichtung mit integrierten piezoresistiven Sensoren für Hochgeschwindigkeits-Rastersondenmikroskopie-Anwendungen
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Umfang
-
Online-Ressource
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Ilmenau, Techn. Univ., Diss., 2011
- Schlagwort
-
Positionierantrieb
Nanometerbereich
Integrierter Sensor
Piezowiderstandseffekt
Rastersondenmikroskopie
Zeitauflösung
Hochgeschwindigkeit
Positionierantrieb / Nanometerbereich / Integrierter Sensor / Piezowiderstandseffekt / Rastersondenmikroskopie / Zeitauflösung
Präzisionsmaschine / Messeinrichtung / Positionierantrieb / Nanotechnologie / Konstruktion / Geräteentwicklung / Rastersondenmikroskopie / Hochschulschrift / Online-Publikation
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Ilmenau
- (wer)
-
Universitätsbibliothek Ilmenau
- (wann)
-
2013
- Urheber
- Beteiligte Personen und Organisationen
- URN
-
urn:nbn:de:gbv:ilm1-2011000543
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
14.08.2025, 10:44 MESZ
Datenpartner
Dieses Objekt wird bereitgestellt von:
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Guliyev, Elshad
- Rangelow, Ivo W.
- Manske, Eberhard
- Lenk, Norbert
- Universitätsbibliothek Ilmenau
Entstanden
- 2013
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