Monografie

Optical scanning sensor system with submicron resolution

Sprache
Englisch
Umfang
XVIII, 142 S.
Anmerkungen
Zugl.: Ilmenau, Techn. Univ., Diss., 2013
ISBN
978-3-86360-068-6
Identifier
1041688679

Reihe
Berichte aus dem Institut für Maschinen- und Gerätekonstruktion; Bd. 24

Thema
Laser-Rastermikroskop ; Autofokussystem ; Optischer Sensor ; Hochschulschrift

Beteiligte Personen und Organisationen

Inhaltsverzeichnis
Rechteinformation
Der Zugriff auf Teile des Objekts ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
15.04.2024, 08:44 MESZ

Objekttyp


  • Monografie

Beteiligte


Ähnliche Objekte (12)