Hochschulschrift

Optical scanning sensor system with submicron resolution

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783863600686
Maße
21 cm, 200 g
Umfang
XVIII, 142 S.
Sprache
Englisch
Anmerkungen
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Ilmenau, Techn. Univ., Diss., 2013

Erschienen in
Berichte aus dem Institut für Maschinen- und Gerätekonstruktion / Technische Universität Ilmenau ; Bd. 24

Schlagwort
Laser-Rastermikroskop
Autofokussystem
Optischer Sensor

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Ilmenau
(wer)
Univ.-Verl.
(wann)
2013
Urheber

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Letzte Aktualisierung
11.06.2025, 13:59 MESZ

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Objekttyp

  • Hochschulschrift

Beteiligte

Entstanden

  • 2013

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