Hochschulschrift

Optical scanning sensor system with submicron resolution

Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783863600686
Dimensions
21 cm, 200 g
Extent
XVIII, 142 S.
Language
Englisch
Notes
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Ilmenau, Techn. Univ., Diss., 2013

Bibliographic citation
Berichte aus dem Institut für Maschinen- und Gerätekonstruktion / Technische Universität Ilmenau ; Bd. 24

Keyword
Laser-Rastermikroskop
Autofokussystem
Optischer Sensor

Event
Veröffentlichung
(where)
Ilmenau
(who)
Univ.-Verl.
(when)
2013
Creator

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Last update
11.06.2025, 1:59 PM CEST

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Object type

  • Hochschulschrift

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Time of origin

  • 2013

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