Hochschulschrift

Optical scanning sensor system with submicron resolution

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Umfang
Online-Ressource
Sprache
Englisch
Anmerkungen
Ilmenau, Univ., Diss., 2013

Erschienen in
Berichte aus dem Institut für Maschinen- und Gerätekonstruktion (IMGK) ; 24

Schlagwort
Laser-Rastermikroskop
Autofokussystem
Optischer Sensor

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Ilmenau
(wer)
Universitätsbibliothek Ilmenau
(wann)
2013
Urheber
Beteiligte Personen und Organisationen
Theska, René
Manske, Eberhard
Lepikson, Hermann

URN
urn:nbn:de:gbv:ilm1-2013000337
Rechteinformation
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
25.03.2025, 13:50 MEZ

Datenpartner

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Objekttyp

  • Hochschulschrift

Beteiligte

Entstanden

  • 2013

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