Recent progress for obtaining the ferroelectric phase in hafnium oxide based films: impact of oxygen and zirconium
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Umfang
-
Online-Ressource
- Sprache
-
Englisch
- Erschienen in
-
In: Japanese Journal of Applied Physics, Erscheinungsjahr: 2019, Jahrgang: 58, Seiten: SL0801-1-SL0801-7, E-ISSN: 1347-4065
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Dresden
- (wer)
-
Technische Universität Dresden
- (wann)
-
2022
- Urheber
-
Schroeder, Uwe
Materano, Monica
Mittmann, Terence
Lomenzo, Patrick D.
Mikolajick, Thomas
Toriumi, Akira
- URN
-
urn:nbn:de:bsz:14-qucosa2-820348
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
15.08.2025, 07:25 MESZ
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Beteiligte
- Schroeder, Uwe
- Materano, Monica
- Mittmann, Terence
- Lomenzo, Patrick D.
- Mikolajick, Thomas
- Toriumi, Akira
- Technische Universität Dresden
Entstanden
- 2022
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