Sputtering of silicon nanopowders by an argon cluster ion beam

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Umfang
Online-Ressource
Sprache
Englisch

Erschienen in
Sputtering of silicon nanopowders by an argon cluster ion beam ; volume:10 ; pages:135-143
Beilstein journal of nanotechnology ; 10, 135-143

Klassifikation
Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau

DOI
10.3762/bjnano.10.13
URN
urn:nbn:de:101:1-2020102908524492349811
Rechteinformation
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
15.08.2025, 07:33 MESZ

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