Focused Ion Beam Sputtering of Silicon and Related Materials

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Umfang
Online-Ressource
Sprache
Englisch
Anmerkungen
In: Forschungszentrum Rossendorf; FZR-217

Erschienen in
Wissenschaftlich-technische Berichte ; FZR-217

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Dresden
(wer)
Forschungszentrum Dresden
(wann)
2010
Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Rossendorf
(wer)
Forschungszentrum Rossendorf
(wann)
2010
Urheber
Bischoff, Lothar
Teichert, Jochen

URN
urn:nbn:de:bsz:d120-qucosa-30797
Rechteinformation
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
15.08.2025, 07:38 MESZ

Datenpartner

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Beteiligte

  • Bischoff, Lothar
  • Teichert, Jochen
  • Forschungszentrum Dresden
  • Forschungszentrum Rossendorf

Entstanden

  • 2010

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