Hochschulschrift
Versuche zur Synthese potentieller Precursoren für die CVD-Abscheidung von Bornitrid, Siliciumnitrid sowie Chrom-, Molybdän- und Wolframsiliciden
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Dimensions
-
21 cm
- Extent
-
134 S.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
graph. Darst.
Köln, Univ., Diss., 1993
- Keyword
-
Siliciumnitrid
CVD-Verfahren
Ausgangsmaterial
Chemische Synthese
Bornitrid
CVD-Verfahren
Ausgangsmaterial
Chemische Synthese
Silicide
CVD-Verfahren
Ausgangsmaterial
Chemische Synthese
- Creator
- Table of contents
- Rights
-
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- Last update
-
05.05.0115, 12:53 AM CET
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Object type
- Hochschulschrift
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