Plasma-enhanced atomic layer deposition of binary metal oxides as gas barrier layers on polymers
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Umfang
-
Online-Ressource
- Sprache
-
Englisch
- Anmerkungen
-
Bochum, Ruhr-Universität Bochum, Dissertation, 2017
- Klassifikation
-
Industrielle und handwerkliche Fertigung
- Schlagwort
-
Polymers
Atomic layer deposition
Metallic oxides
Atomlagenabscheidung
Dünne Schicht
Polymere
Plasma
Metalloxide
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Bochum
- (wer)
-
Ruhr-Universität Bochum
- (wann)
-
2018
- Urheber
- Beteiligte Personen und Organisationen
-
Devi, Anjana
Awakowitz, Peter
Fakultät für Chemie und Biochemie
- URN
-
urn:nbn:de:hbz:294-58088
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
25.03.2025, 13:52 MEZ
Datenpartner
Dieses Objekt wird bereitgestellt von:
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Beteiligte
- Gebhard, Maximilian
- Devi, Anjana
- Awakowitz, Peter
- Fakultät für Chemie und Biochemie
- Ruhr-Universität Bochum
Entstanden
- 2018
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