Atomic Layer Deposition and Microanalysis of Ultrathin Layers

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Umfang
Online-Ressource
Sprache
Englisch

Schlagwort
Atomschichtepitaxie
Kohlenstoff-Nanoröhre
Diketonate
Kupfer
Kupferoxide
Metallisierungsschicht
ULSI

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Chemnitz
(wer)
Universitätsbibliothek Chemnitz
(wann)
2012
Urheber
Melzer, Marcel
Beteiligte Personen und Organisationen
Wächtler, Thomas
Schulz, Stefan E.
Hietschold, Michael

URN
urn:nbn:de:bsz:ch1-qucosa-97235
Rechteinformation
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
25.03.2025, 13:49 MEZ

Datenpartner

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Beteiligte

  • Melzer, Marcel
  • Wächtler, Thomas
  • Schulz, Stefan E.
  • Hietschold, Michael
  • Universitätsbibliothek Chemnitz

Entstanden

  • 2012

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