Venting temperature determines surface chemistry of magnetron sputtered TiN films

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Umfang
Online-Ressource
Sprache
Englisch

Erschienen in
In: Applied physics letters 108(4), Seiten/Artikel-Nr.:041603

Klassifikation
Öffentliche Darbietungen, Film, Rundfunk

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Aachen
(wer)
Universitätsbibliothek der RWTH Aachen
(wann)
2016
Urheber
Greczynski, Grzegorz
Mráz, Stanislav
Hultman, L.
Schneider, Jochen M.

DOI
10.1063/1.4940974
URN
urn:nbn:de:101:1-201804202252
Rechteinformation
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
25.03.0008, 13:43 MEZ

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Beteiligte

Entstanden

  • 2016

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