Venting temperature determines surface chemistry of magnetron sputtered TiN films
- Standort
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Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Umfang
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Online-Ressource
- Sprache
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Englisch
- Erschienen in
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In: Applied physics letters 108(4), Seiten/Artikel-Nr.:041603
- Klassifikation
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Öffentliche Darbietungen, Film, Rundfunk
- Ereignis
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Veröffentlichung
- (wo)
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Aachen
- (wer)
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Universitätsbibliothek der RWTH Aachen
- (wann)
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2016
- Urheber
- DOI
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10.1063/1.4940974
- URN
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urn:nbn:de:101:1-201804202252
- Rechteinformation
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Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
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25.03.0008, 13:43 MEZ
Datenpartner
Deutsche Nationalbibliothek. Bei Fragen zum Objekt wenden Sie sich bitte an den Datenpartner.
Beteiligte
- Greczynski, Grzegorz
- Mráz, Stanislav
- Hultman, L.
- Schneider, Jochen M.
- Universitätsbibliothek der RWTH Aachen
Entstanden
- 2016