Angular resolved mass-energy analysis of species emitted from a dc magnetron sputtered NiW-target

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Umfang
Online-Ressource
Sprache
Englisch

Erschienen in
In: 10.1116/1.5138248

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Aachen
(wer)
Universitätsbibliothek der RWTH Aachen
(wann)
2020
Urheber
Rausch, Martin
Mráz, Stanislav
Kreiml, Patrice
Cordill, Megan J.
Schneider, Jochen M.
Winkler, Jörg
Mitterer, Christian

DOI
10.18154/RWTH-2020-01335
URN
urn:nbn:de:101:1-2021021005275559337429
Rechteinformation
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
15.08.2025, 07:32 MESZ

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Beteiligte

Entstanden

  • 2020

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