Venting temperature determines surface chemistry of magnetron sputtered TiN films
- Location
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Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Extent
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Online-Ressource
- Language
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Englisch
- Bibliographic citation
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In: Applied physics letters 108(4), Seiten/Artikel-Nr.:041603
- Classification
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Öffentliche Darbietungen, Film, Rundfunk
- Event
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Veröffentlichung
- (where)
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Aachen
- (who)
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Universitätsbibliothek der RWTH Aachen
- (when)
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2016
- Creator
- DOI
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10.1063/1.4940974
- URN
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urn:nbn:de:101:1-201804202252
- Rights
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Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
25.03.2025, 1:43 PM CET
Data provider
Deutsche Nationalbibliothek. If you have any questions about the object, please contact the data provider.
Associated
- Greczynski, Grzegorz
- Mráz, Stanislav
- Hultman, L.
- Schneider, Jochen M.
- Universitätsbibliothek der RWTH Aachen
Time of origin
- 2016