Venting temperature determines surface chemistry of magnetron sputtered TiN films

Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Extent
Online-Ressource
Language
Englisch

Bibliographic citation
In: Applied physics letters 108(4), Seiten/Artikel-Nr.:041603

Classification
Öffentliche Darbietungen, Film, Rundfunk

Event
Veröffentlichung
(where)
Aachen
(who)
Universitätsbibliothek der RWTH Aachen
(when)
2016
Creator
Greczynski, Grzegorz
Mráz, Stanislav
Hultman, L.
Schneider, Jochen M.

DOI
10.1063/1.4940974
URN
urn:nbn:de:101:1-201804202252
Rights
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Last update
25.03.2025, 1:43 PM CET

Data provider

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Time of origin

  • 2016

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