Hochschulschrift
Eigenschaften von CVD-Titanverbindungsschichten aus metallorganischen Verbindungen für die Mehrlagenmetallisierung höchst integrierter Bauelemente
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783926323804
3926323809
- Dimensions
-
21 cm
- Extent
-
184 S. in getr. Zählung
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Ill., graph. Darst.
Fälschlich als Bd. 2 der Schriftenreihe bezeichnet
Zugl.: München, Techn. Univ., Diss., 1994
- Bibliographic citation
-
Wissenschaftliche Forschungsbeiträge Physik ; Bd. [3]
- Keyword
-
VLSI
Metallisierungsschicht
Titannitrid
CVD-Verfahren
Titanamide
Ausgangsmaterial
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Prien am Chiemsee
- (who)
-
Intemann
- (when)
-
1994
- Creator
-
Intemann, Andreas S.
- Table of contents
- Rights
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
11.06.2025, 1:54 PM CEST
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Intemann, Andreas S.
- Intemann
Time of origin
- 1994
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