Hochschulschrift | Online-Publikation
Auswirkungen einer Plasmabehandlung auf die Eigenschaften des Niedertemperatur-Waferbondens monokristalliner Siliziumoberflächen
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Halle (Saale), Univ., Diss., 2001
- Keyword
-
Silicium
Kristallfläche
Oberflächenbehandlung
Plasmatechnik
Silicium
Wafer
Bonden
Oberflächeneigenschaft
- Creator
- URN
-
urn:nbn:de:gbv:3-000002641
- Rights
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
15.08.2025, 7:30 AM CEST
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
- Online-Publikation
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