Hochschulschrift

Lithographie-unabhängige MOS-Transistoren mit Kanallängen kleiner 100 nm

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783183248094
3183248093
Maße
21 cm
Umfang
X, 145 S.
Ausgabe
Als Ms. gedr.
Sprache
Deutsch
Anmerkungen
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Stuttgart, Univ., Diss.

Erschienen in
Fortschrittberichte VDI / 9 / Verein Deutscher Ingenieure ; Nr. 248, Reihe 9

Schlagwort
MOS-FET
CMOS
SOI-Technik

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Düsseldorf
(wer)
VDI-Verl.
(wann)
1997
Urheber

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Rechteinformation
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Letzte Aktualisierung
11.06.2025, 13:44 MESZ

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Objekttyp

  • Hochschulschrift

Beteiligte

Entstanden

  • 1997

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