Hochschulschrift

Integration epitaktischer InP-Schichten in Si-MOS-Schaltungen

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783181466094
3181466093
Maße
21 cm
Umfang
VI, 110 S.
Ausgabe
Als Ms. gedr.
Sprache
Deutsch
Anmerkungen
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Braunschweig, Techn. Univ., Diss., 1993

Erschienen in
Fortschrittberichte VDI / 9 / Verein Deutscher Ingenieure ; Nr. 166, Reihe 9

Schlagwort
MOS-Schaltung
Siliciumbauelement
Indiumphosphid
Dünne Schicht
Gasphasenepitaxie

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Düsseldorf
(wer)
VDI-Verl.
(wann)
1993
Urheber
Lubnow, Andreas

Inhaltsverzeichnis
Rechteinformation
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Letzte Aktualisierung
11.06.2025, 14:15 MESZ

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Objekttyp

  • Hochschulschrift

Beteiligte

  • Lubnow, Andreas
  • VDI-Verl.

Entstanden

  • 1993

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