Hochschulschrift | Online-Publikation

Charakterisierung des Relaxationsverhaltens von Si1-xGex/Si(001)-Schichten mittels Röntgentopographie

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Sprache
Deutsch
Anmerkungen
Berlin, Humboldt-Univ., Diss., 2001

Schlagwort
Germanium
Silicium
Mischkristall
Epitaxieschicht
Silicium
Halbleitersubstrat
Epitaxieschicht
Schichtwachstum
Versetzung
Röntgentopographie

Urheber
Pfeiffer, Jens-Uwe

URN
urn:nbn:de:kobv:11-10017975
Rechteinformation
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Letzte Aktualisierung
15.08.2025, 07:38 MESZ

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Objekttyp

  • Hochschulschrift
  • Online-Publikation

Beteiligte

  • Pfeiffer, Jens-Uwe

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