Entwurf, Modellierung und Realisierung eines kammstrukturbasierten MEMS-Mikrofons
- Alternative title
-
Design, modeling and realization of a comb-based MEMS microphone
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Extent
-
Online-Ressource
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
München, Technische Universität München, Dissertation, 2020
- Classification
-
Elektrotechnik, Elektronik
- Keyword
-
MEMS
Mikrofon
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
München
- (who)
-
Universitätsbibliothek der TU München
- (when)
-
2020
- Creator
- Contributor
-
Schrag, Gabriele
Schrag, Gabriele
Tornow, Marc
- URN
-
urn:nbn:de:bvb:91-diss-20200619-1453540-1-8
- Rights
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
25.03.2025, 1:47 PM CET
Data provider
This object is provided by:
Deutsche Nationalbibliothek. If you have any questions about the object, please contact the data provider.
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Associated
- Manz, Johannes
- Schrag, Gabriele
- Tornow, Marc
- Universitätsbibliothek der TU München
Time of origin
- 2020
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