Hochschulschrift
Entwurf und Realisierung eines elektromagnetischen 3-Positionen MEMS Aktuators
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783844005905
- Dimensions
-
21 cm, 156 g
- Extent
-
V, 98 S.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Berlin, Techn. Univ., Diss., 2011
- Classification
-
Elektrotechnik, Elektronik
- Keyword
-
MEMS
Mikroaktor
Elektrolinearmotor
Mikrosensor
Magnetfeldsensor
Positionierung
Messsystem
Mikrofertigung
Ferromagnetische Schicht
Hysteresekurve
- Table of contents
- Rights
-
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- Last update
-
11.06.2025, 1:51 PM CEST
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Xu, Xin
- Shaker
Time of origin
- 2011
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