Hochschulschrift
Technologieplattform für die Herstellung von MEMS aus Siliziumcarbid am Beispiel eines Drucksensors
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783844009620
- Maße
-
21 cm, 221 g
- Umfang
-
147 S.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Saarbrücken, Univ., Diss., 2012
- Erschienen in
-
Aktuelle Berichte aus der Mikrosystemtechnik ; Bd. 22
- Schlagwort
-
Drucksensor
Siliciumcarbid
MEMS
Herstellung
CVD-Verfahren
Trockenätzen
Nassätzen
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- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
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- Letzte Aktualisierung
-
11.06.2025, 13:45 MESZ
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Behnel, Nils Rasmus
- Shaker
Entstanden
- 2012
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