Hochschulschrift
Technologieplattform für die Herstellung von MEMS aus Siliziumcarbid am Beispiel eines Drucksensors
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783844009620
- Dimensions
-
21 cm, 221 g
- Extent
-
147 S.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Saarbrücken, Univ., Diss., 2012
- Bibliographic citation
-
Aktuelle Berichte aus der Mikrosystemtechnik ; Bd. 22
- Keyword
-
Drucksensor
Siliciumcarbid
MEMS
Herstellung
CVD-Verfahren
Trockenätzen
Nassätzen
Kontaktieren
- Table of contents
- Rights
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
11.06.2025, 1:45 PM CEST
Data provider
This object is provided by:
Deutsche Nationalbibliothek. If you have any questions about the object, please contact the data provider.
Deutsche Nationalbibliothek. If you have any questions about the object, please contact the data provider.
Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Behnel, Nils Rasmus
- Shaker
Time of origin
- 2012
Other Objects (12)
Entwurf und Realisierung eines elektromagnetischen 3-Positionen MEMS Aktuators
Piezoelektrischer MEMS Mass Flow Controller zur Dosierung von Flüssigkraftstoff
Regelungstechnische Analyse und Synthese von MEMS mit elektrostatischem Wirkprinzip
Modeling and optimization methods of an electrostatically driven MEMS speaker
Modeling of MEMS microbolometers : a physics-based scalable compact model
Charakterisierung und Optimierung piezoelektrischer MEMS-Mikrophone mittels physikalischer Modellierung und Simulation
Mikromechanik und Aufbautechnik zur Realisierung eines MEMS Aktuators für Festplattenspeicher-Schreib-Leseköpfe
Modeling and control of capacitive single- and dual-axis MEMS frame gyroscopes
Development of a silicon MEMS transducer for microloudspeaker systems
Herstellung von Stärkeschäumen unter Verwendung der Direktextrusion am Beispiel von Maisgrieß
Miniaturisierung des Strangziehverfahrens am Beispiel der Herstellung von Kanülen aus kohlenstofffaserverstärktem Kunststoff
Entwicklung von Wechselschaltern und Phasenschiebern im Ka- und W-Band basierend auf einer optimierten HF-MEMS-Technologie
Entwurf und Realisierung eines elektromagnetischen 3-Positionen MEMS Aktuators
Piezoelektrischer MEMS Mass Flow Controller zur Dosierung von Flüssigkraftstoff
Regelungstechnische Analyse und Synthese von MEMS mit elektrostatischem Wirkprinzip
Modeling and optimization methods of an electrostatically driven MEMS speaker
Modeling of MEMS microbolometers : a physics-based scalable compact model
Charakterisierung und Optimierung piezoelektrischer MEMS-Mikrophone mittels physikalischer Modellierung und Simulation
Mikromechanik und Aufbautechnik zur Realisierung eines MEMS Aktuators für Festplattenspeicher-Schreib-Leseköpfe
Modeling and control of capacitive single- and dual-axis MEMS frame gyroscopes
Development of a silicon MEMS transducer for microloudspeaker systems
Herstellung von Stärkeschäumen unter Verwendung der Direktextrusion am Beispiel von Maisgrieß
Miniaturisierung des Strangziehverfahrens am Beispiel der Herstellung von Kanülen aus kohlenstofffaserverstärktem Kunststoff
Entwicklung von Wechselschaltern und Phasenschiebern im Ka- und W-Band basierend auf einer optimierten HF-MEMS-Technologie
Entwurf und Realisierung eines elektromagnetischen 3-Positionen MEMS Aktuators
Piezoelektrischer MEMS Mass Flow Controller zur Dosierung von Flüssigkraftstoff
Regelungstechnische Analyse und Synthese von MEMS mit elektrostatischem Wirkprinzip
Modeling and optimization methods of an electrostatically driven MEMS speaker
Modeling of MEMS microbolometers : a physics-based scalable compact model
Charakterisierung und Optimierung piezoelektrischer MEMS-Mikrophone mittels physikalischer Modellierung und Simulation
Mikromechanik und Aufbautechnik zur Realisierung eines MEMS Aktuators für Festplattenspeicher-Schreib-Leseköpfe
Modeling and control of capacitive single- and dual-axis MEMS frame gyroscopes
Development of a silicon MEMS transducer for microloudspeaker systems
Herstellung von Stärkeschäumen unter Verwendung der Direktextrusion am Beispiel von Maisgrieß
Miniaturisierung des Strangziehverfahrens am Beispiel der Herstellung von Kanülen aus kohlenstofffaserverstärktem Kunststoff