Hochschulschrift
Modellierung und Herstellung kapazitiver Mikrofone in BiCMOS-Technologie
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Umfang
-
Online-Ressource
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Erlangen, Nürnberg, Univ., Diss., 2004
- Klassifikation
-
Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau
- Schlagwort
-
Mikrofon
Siliciumbauelement
Mikromechanik
Kapazitiver Sensor
BICMOS
SOI-Technik
Mikromechanik ; BICMOS ; Mikrophon
- Urheber
- URN
-
urn:nbn:de:bvb:29-opus-787
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
15.08.2025, 07:36 MESZ
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Objekttyp
- Hochschulschrift
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