Hochschulschrift
Modellierung und Herstellung kapazitiver Mikrofone in BiCMOS-Technologie
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Extent
-
Online-Ressource
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Erlangen, Nürnberg, Univ., Diss., 2004
- Classification
-
Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau
- Keyword
-
Mikrofon
Siliciumbauelement
Mikromechanik
Kapazitiver Sensor
BICMOS
SOI-Technik
Mikromechanik ; BICMOS ; Mikrophon
- Creator
- URN
-
urn:nbn:de:bvb:29-opus-787
- Rights
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
15.08.2025, 7:36 AM CEST
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
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