Hochschulschrift
Entwurf, Modellierung und Realisierung eines kammstrukturbasierten MEMS-Mikrofons
- Weitere Titel
-
Design, modeling and realization of a comb-based MEMS microphone
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Umfang
-
Online-Ressource
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
München, Technische Universität München, Dissertation, 2020
- Klassifikation
-
Elektrotechnik, Elektronik
- Schlagwort
-
Mikrofon
MEMS
Signal-Rausch-Abstand
Kondensatormikrofon
Rauscheigenschaft
Technische Membran
Simulation
MEMS
Mikrofon
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
München
- (wer)
-
Universitätsbibliothek der TU München
- (wann)
-
2020
- Urheber
- Beteiligte Personen und Organisationen
-
Schrag, Gabriele
Tornow, Marc
- URN
-
urn:nbn:de:bvb:91-diss-20200619-1453540-1-8
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
14.08.2025, 10:45 MESZ
Datenpartner
Dieses Objekt wird bereitgestellt von:
Deutsche Nationalbibliothek. Bei Fragen zum Objekt wenden Sie sich bitte an den Datenpartner.
Deutsche Nationalbibliothek. Bei Fragen zum Objekt wenden Sie sich bitte an den Datenpartner.
Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Manz, Johannes
- Schrag, Gabriele
- Tornow, Marc
- Universitätsbibliothek der TU München
Entstanden
- 2020
Ähnliche Objekte (12)
Entwurf, Modellierung und Realisierung eines kammstrukturbasierten MEMS-Mikrofons
Programmierbare kapazitive MEMS-Mikrofone
Thermomechanische Simulation von Flip-Chip MEMS-Mikrofonen
Entwurf und Realisierung eines elektromagnetischen 3-Positionen MEMS Aktuators
Elastizitätsmodul und Bruchfestigkeit von Poly-Silizium-Membranen kommerzieller MEMS-Mikrofone
Modellierung, Reglerentwurf und Praxistest eines hochdynamischen MEMS-Präzisionsbeschleunigungssensors
Charakterisierung und Optimierung piezoelektrischer MEMS-Mikrophone mittels physikalischer Modellierung und Simulation
Charakterisierung und Optimierung piezoelektrischer MEMS-Mikrophone mittels physikalischer Modellierung und Simulation
CMOS-MEMS
CMOS-MEMS
Entwicklung und Modellierung eines Silizium-Mikrofons mit integrierter Signalverarbeitung
Modellierung und Herstellung kapazitiver Mikrofone in BiCMOS-Technologie
Entwurf, Modellierung und Realisierung eines kammstrukturbasierten MEMS-Mikrofons
Programmierbare kapazitive MEMS-Mikrofone
Thermomechanische Simulation von Flip-Chip MEMS-Mikrofonen
Entwurf und Realisierung eines elektromagnetischen 3-Positionen MEMS Aktuators
Elastizitätsmodul und Bruchfestigkeit von Poly-Silizium-Membranen kommerzieller MEMS-Mikrofone
Modellierung, Reglerentwurf und Praxistest eines hochdynamischen MEMS-Präzisionsbeschleunigungssensors
Charakterisierung und Optimierung piezoelektrischer MEMS-Mikrophone mittels physikalischer Modellierung und Simulation
Charakterisierung und Optimierung piezoelektrischer MEMS-Mikrophone mittels physikalischer Modellierung und Simulation
CMOS-MEMS
CMOS-MEMS
Entwicklung und Modellierung eines Silizium-Mikrofons mit integrierter Signalverarbeitung
Modellierung und Herstellung kapazitiver Mikrofone in BiCMOS-Technologie
Entwurf, Modellierung und Realisierung eines kammstrukturbasierten MEMS-Mikrofons
Programmierbare kapazitive MEMS-Mikrofone
Thermomechanische Simulation von Flip-Chip MEMS-Mikrofonen
Entwurf und Realisierung eines elektromagnetischen 3-Positionen MEMS Aktuators
Elastizitätsmodul und Bruchfestigkeit von Poly-Silizium-Membranen kommerzieller MEMS-Mikrofone
Modellierung, Reglerentwurf und Praxistest eines hochdynamischen MEMS-Präzisionsbeschleunigungssensors
Charakterisierung und Optimierung piezoelektrischer MEMS-Mikrophone mittels physikalischer Modellierung und Simulation
Charakterisierung und Optimierung piezoelektrischer MEMS-Mikrophone mittels physikalischer Modellierung und Simulation
CMOS-MEMS
CMOS-MEMS
Entwicklung und Modellierung eines Silizium-Mikrofons mit integrierter Signalverarbeitung