Entwurf, Modellierung und Realisierung eines kammstrukturbasierten MEMS-Mikrofons

Weitere Titel
Design, modeling and realization of a comb-based MEMS microphone
Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Umfang
Online-Ressource
Sprache
Deutsch
Anmerkungen
München, Technische Universität München, Dissertation, 2020

Klassifikation
Elektrotechnik, Elektronik
Schlagwort
MEMS
Mikrofon

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
München
(wer)
Universitätsbibliothek der TU München
(wann)
2020
Urheber
Beteiligte Personen und Organisationen
Schrag, Gabriele
Schrag, Gabriele
Tornow, Marc

URN
urn:nbn:de:bvb:91-diss-20200619-1453540-1-8
Rechteinformation
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
25.03.2025, 13:47 MEZ

Datenpartner

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Beteiligte

  • Manz, Johannes
  • Schrag, Gabriele
  • Tornow, Marc
  • Universitätsbibliothek der TU München

Entstanden

  • 2020

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