Hochschulschrift
Zur Kenntnis von Precursoren für die chemische Gasphasenabscheidung von TiN-Dünnschichten
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Maße
-
21 cm
- Umfang
-
131 S.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Ill., graph. Darst.
Köln, Univ., Diss., 1997
- Schlagwort
-
Titankomplexe
Amidoverbindungen
Ausgangsmaterial
CVD-Verfahren
Dampfdruck
Titankomplexe
Amidoverbindungen
Ausgangsmaterial
CVD-Verfahren
Titannitrid
Diffusionsbarriere
- Urheber
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
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- Letzte Aktualisierung
-
11.06.2025, 14:05 MESZ
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Objekttyp
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Beteiligte
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