Hochschulschrift
Metallorganische Chemische Gasphasenabscheidung (MOCVD) ferroelektrischer Dünnschichten: Herstellung und Charakterisierung
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783893364923
- Maße
-
24 cm
- Umfang
-
Online-Ressource
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2007
- Erschienen in
-
Schriften des Forschungszentrums Jülich / Reihe Informationstechnik / Forschungszentrum Jülich ; Bd. 17, [...]
- Schlagwort
-
MOCVD-Verfahren ; FRAM
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Jülich
- (wer)
-
Forschungszentrum, Zentralbibliothek
- (wann)
-
2007
- Urheber
- URN
-
urn:nbn:de:hbz:82-opus-20401
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
25.03.2025, 13:50 MEZ
Datenpartner
Dieses Objekt wird bereitgestellt von:
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Puchalla, Jochen
- Forschungszentrum, Zentralbibliothek
Entstanden
- 2007
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