Monografie
Die optische Selektivität von W/Al2O3-Schichten nach Auslagerungen bei 500°C mittels spektraler Ellipsometrie zwischen 0,25 und 25 μm [my m]
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Berlin, Techn. Univ., Diss., 1998
- Identifier
-
958560196
Thema
Wolfram ; Aluminiumoxide ; Dünne Schicht ; CVD-Verfahren ; Ellipsometrie ; Hochschulschrift; Online-Publikation
Beteiligte Personen und Organisationen
Ǧahānbakhsh, Mohammad
- URN
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
26.01.2023, 13:54 MEZ
Objekttyp
- Monografie
Beteiligte
- Ǧahānbakhsh, Mohammad
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