Prozessentwicklung zur Herstellung von Zinnoxid- und Zirkoniumoxidschichten in der plasmaunterstützten chemischen Gasphasenabscheidung
- Weitere Titel
-
Process development for the fabrication of tin oxide and zirconium oxide coatings by plasma enhanced chemical vapour deposition
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Umfang
-
Online-Ressource
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Saarbrücken, Leibniz-Institut für Neue Materialien, Dissertation, 2011
- Klassifikation
-
Chemie
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Saarbrücken
- (wer)
-
Universität des Saarlandes
- (wann)
-
2011
- Urheber
-
Rügamer, Thomas
- Beteiligte Personen und Organisationen
-
Mathur, Sanjay
INM - Leibniz-Institut für Neue Materialien
- DOI
-
10.22028/D291-22843
- URN
-
urn:nbn:de:bsz:291:415-7942
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
25.03.2025, 13:41 MEZ
Datenpartner
Dieses Objekt wird bereitgestellt von:
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Beteiligte
- Rügamer, Thomas
- Mathur, Sanjay
- INM - Leibniz-Institut für Neue Materialien
- Universität des Saarlandes
Entstanden
- 2011
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