Prozessentwicklung zur Herstellung von Zinnoxid- und Zirkoniumoxidschichten in der plasmaunterstützten chemischen Gasphasenabscheidung
- Alternative title
-
Process development for the fabrication of tin oxide and zirconium oxide coatings by plasma enhanced chemical vapour deposition
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Extent
-
Online-Ressource
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Saarbrücken, Leibniz-Institut für Neue Materialien, Dissertation, 2011
- Classification
-
Chemie
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Saarbrücken
- (who)
-
Universität des Saarlandes
- (when)
-
2011
- Creator
-
Rügamer, Thomas
- Contributor
-
Mathur, Sanjay
INM - Leibniz-Institut für Neue Materialien
- DOI
-
10.22028/D291-22843
- URN
-
urn:nbn:de:bsz:291:415-7942
- Rights
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
25.03.2025, 1:41 PM CET
Data provider
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Associated
- Rügamer, Thomas
- Mathur, Sanjay
- INM - Leibniz-Institut für Neue Materialien
- Universität des Saarlandes
Time of origin
- 2011
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