Prozessentwicklung zur Herstellung von Zinnoxid- und Zirkoniumoxidschichten in der plasmaunterstützten chemischen Gasphasenabscheidung
- Alternative title
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Process development for the fabrication of tin oxide and zirconium oxide coatings by plasma enhanced chemical vapour deposition
- Location
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Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Extent
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Online-Ressource
- Language
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Deutsch
- Notes
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Saarbrücken, Leibniz-Institut für Neue Materialien, Dissertation, 2011
- Classification
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Chemie
- Event
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Veröffentlichung
- (where)
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Saarbrücken
- (who)
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Universität des Saarlandes
- (when)
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2011
- Creator
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Rügamer, Thomas
- Contributor
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Mathur, Sanjay
INM - Leibniz-Institut für Neue Materialien
- DOI
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10.22028/D291-22843
- URN
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urn:nbn:de:bsz:291:415-7942
- Rights
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Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
25.03.2025, 1:41 PM CET
Data provider
Deutsche Nationalbibliothek. If you have any questions about the object, please contact the data provider.
Associated
- Rügamer, Thomas
- Mathur, Sanjay
- INM - Leibniz-Institut für Neue Materialien
- Universität des Saarlandes
Time of origin
- 2011