Prozessentwicklung zur Herstellung von Zinnoxid- und Zirkoniumoxidschichten in der plasmaunterstützten chemischen Gasphasenabscheidung

Alternative title
Process development for the fabrication of tin oxide and zirconium oxide coatings by plasma enhanced chemical vapour deposition
Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Extent
Online-Ressource
Language
Deutsch
Notes
Saarbrücken, Leibniz-Institut für Neue Materialien, Dissertation, 2011

Classification
Chemie

Event
Veröffentlichung
(where)
Saarbrücken
(who)
Universität des Saarlandes
(when)
2011
Creator
Rügamer, Thomas
Contributor
Mathur, Sanjay
INM - Leibniz-Institut für Neue Materialien

DOI
10.22028/D291-22843
URN
urn:nbn:de:bsz:291:415-7942
Rights
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Last update
25.03.2025, 1:41 PM CET

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  • Rügamer, Thomas
  • Mathur, Sanjay
  • INM - Leibniz-Institut für Neue Materialien
  • Universität des Saarlandes

Time of origin

  • 2011

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