Monografie
Atomistische Modellierung und Simulation des Filmwachstums bei Gasphasenabscheidungen
- Sprache
-
Deutsch
- Identifier
-
1214303250
Thema
Gasphase; Mehrskalenmodell; Monte-Carlo-Simulation; Molekulardynamik; PVD-Verfahren; CVD-Verfahren; Atomlagenabscheidung; Kristallwachstum; Schichtwachstum; Dünne Schicht; Epitaxieschicht
Beteiligte Personen und Organisationen
- URN
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
26.01.2023, 13:56 MEZ
Objekttyp
- Monografie
Beteiligte
- Lorenz, Erik E.
- Schuster, Jörg
- Schulz, Stefan E.
- Hoffmann, Karl Heinz
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