Coupling between stochastic particle transport models and topographic thin film growth
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Umfang
-
Online-Ressource
- Sprache
-
Englisch
- Schlagwort
-
Simulation
Gasströmung
Modell
Level-Set-Methode
Atomlagenabscheidung
CVD-Verfahren
PVD-Verfahren
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Chemnitz
- (wer)
-
Technische Universität Chemnitz
- (wann)
-
2022
- Urheber
-
Gehre, Joshua
- Beteiligte Personen und Organisationen
-
Lorenz, Erik E.
Weigel, Martin
Schuster, Jörg
- URN
-
urn:nbn:de:bsz:ch1-qucosa2-786436
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
15.08.2025, 07:27 MESZ
Datenpartner
Dieses Objekt wird bereitgestellt von:
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Beteiligte
- Gehre, Joshua
- Lorenz, Erik E.
- Weigel, Martin
- Schuster, Jörg
- Technische Universität Chemnitz
Entstanden
- 2022
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