Herstellung und Charakterisierung gesputterter TiN-Schichten auf Kupferwerkstoffen
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783861119500
3861119501
- Maße
-
21 cm
- Umfang
-
134 S.
- Ausgabe
-
Als Ms. gedr.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Stuttgart, Univ., Diss., 1994
- Schlagwort
-
Kupferlegierung
Beschichten
Titannitrid
Magnetronsputtern
Hochfrequenzsputtern
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Aachen
- (wer)
-
Shaker
- (wann)
-
1994
- Urheber
-
Martin, Benedikt
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
11.06.2025, 14:01 MESZ
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Beteiligte
- Martin, Benedikt
- Shaker
Entstanden
- 1994
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