Hochschulschrift
Wachstum und Eigenschaften von ionenstrahlunterstützt aufgedampften TiN-Schichten
- Location
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Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
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9783826575181
3826575180
- Dimensions
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21 cm
- Extent
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V, 115 S.
- Language
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Deutsch
- Notes
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Ill., graph. Darst.
Zugl.: Kaiserslautern, Univ., Diss., 2000
- Keyword
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Titannitrid
Dünne Schicht
Schichtwachstum
Aufdampfen
Ionenstrahl
- Table of contents
- Rights
-
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- Last update
-
11.06.2025, 1:55 PM CEST
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Wolff, Detlef
- Shaker
Time of origin
- 2000