Hochschulschrift

Wachstum und Eigenschaften von ionenstrahlunterstützt aufgedampften TiN-Schichten

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Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783826575181
3826575180
Dimensions
21 cm
Extent
V, 115 S.
Language
Deutsch
Notes
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Kaiserslautern, Univ., Diss., 2000

Keyword
Titannitrid
Dünne Schicht
Schichtwachstum
Aufdampfen
Ionenstrahl

Event
Veröffentlichung
(where)
Aachen
(who)
Shaker
(when)
2000
Creator

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Last update
11.03.2025, 12:04 PM CET

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Object type

  • Hochschulschrift

Associated

Time of origin

  • 2000

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