Monografie

Al2O3 thin films : relation between structural evolution, mechanical properties and stability

Sprache
Englisch
Anmerkungen
Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2011
Identifier
1019852542

Reihe
Materials Chemistry Dissertation; 14 (2011)

Thema
Aluminiumoxide ; PECVD-Verfahren ; Mikrostruktur ; Mechanische Eigenschaft ; Stabilität ; Dünne Schicht , Mechanische Eigenschaft , Thermodynamische Stabilität; Hochschulschrift

Beteiligte Personen und Organisationen

URN
Rechteinformation
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
26.01.2023, 13:58 MEZ

Objekttyp

  • Monografie

Beteiligte

Ähnliche Objekte (12)