Hochschulschrift
Al2O3 thin films : relation between structural evolution, mechanical properties, and stability
- Location
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Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
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9783844006179
- Dimensions
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21 cm, 189 g
- Extent
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XIV, 109 S.
- Language
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Englisch
- Notes
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Ill., graph. Darst.
Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2011
- Bibliographic citation
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Materials chemistry dissertation ; No. 14
- Keyword
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Aluminiumoxide
PECVD-Verfahren
Mikrostruktur
Mechanische Eigenschaft
Stabilität
Dünne Schicht ; Mechanische Eigenschaft ; Thermodynamische Stabilität
- Table of contents
- Rights
-
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- Last update
-
11.03.2025, 11:45 AM CET
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Jiang, Kaiyun
- Shaker
Time of origin
- 2011