Hochschulschrift

Al2O3 thin films : relation between structural evolution, mechanical properties, and stability

Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783844006179
Dimensions
21 cm, 189 g
Extent
XIV, 109 S.
Language
Englisch
Notes
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2011

Bibliographic citation
Materials chemistry dissertation ; No. 14

Keyword
Aluminiumoxide
PECVD-Verfahren
Mikrostruktur
Mechanische Eigenschaft
Stabilität
Dünne Schicht ; Mechanische Eigenschaft ; Thermodynamische Stabilität

Event
Veröffentlichung
(where)
Aachen
(who)
Shaker
(when)
2011
Creator

Table of contents
Rights
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
Last update
11.03.2025, 11:45 AM CET

Data provider

This object is provided by:
Deutsche Nationalbibliothek. If you have any questions about the object, please contact the data provider.

Object type

  • Hochschulschrift

Associated

Time of origin

  • 2011

Other Objects (12)