Monografie

Al2O3 thin films : relation between structural evolution, mechanical properties, and stability

Sprache
Englisch
Umfang
XIV, 109 S.
Anmerkungen
Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2011
ISBN
978-3-8440-0617-9
Identifier
1018627510

Reihe
Materials chemistry dissertation; No. 14

Thema
Aluminiumoxide ; PECVD-Verfahren ; Mikrostruktur ; Mechanische Eigenschaft ; Stabilität ; Dünne Schicht ; Mechanische Eigenschaft ; Thermodynamische Stabilität; Hochschulschrift

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Letzte Aktualisierung
15.04.2024, 08:45 MESZ

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