Hochschulschrift
Mikrostrukturierung von Silizium mittels lichtinduziertem Trockenätzen im Vakuumultraviolett
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783896854216
3896854216
- Maße
-
21 cm
- Umfang
-
II, 146 S.
- Ausgabe
-
1. Aufl.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Berlin, Freie Univ., Diss., 1996
- Schlagwort
-
Silicium
Trockenätzen
Lichtinduzierter Effekt
Synchrotronstrahlung
Vakuumultraviolett
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Berlin
- (wer)
-
Wiss.-und-Technik-Verl.
- (wann)
-
1997
- Urheber
-
Streller, Udo
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
11.06.2025, 13:53 MESZ
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Streller, Udo
- Wiss.-und-Technik-Verl.
Entstanden
- 1997
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