Mikrostrukturierung mittels KrF-Excimerlaser

Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Extent
Online-Ressource
Language
Deutsch

Keyword
Mikrostruktur
Mikrobearbeitung
Ultrakurzzeitlaser
LIGA-Verfahren
Oberflächenbehandlung
Laserablation
Mikrosystemtechnik
Mikrostruktur
Excimerlaser

Event
Veröffentlichung
(where)
Mittweida
(who)
Bibliothek der Hochschule Mittweida
(when)
2010
Creator
Gronau, Stefan
Contributor
Weißmantel
Böttcher

URN
urn:nbn:de:bsz:mit1-opus-2927
Rights
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Last update
25.03.2025, 1:54 PM CET

Data provider

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  • Gronau, Stefan
  • Weißmantel
  • Böttcher
  • Bibliothek der Hochschule Mittweida

Time of origin

  • 2010

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