Hochschulschrift
Mikrostrukturierung von Silizium mittels lichtinduziertem Trockenätzen im Vakuumultraviolett
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783896854216
3896854216
- Dimensions
-
21 cm
- Extent
-
II, 146 S.
- Edition
-
1. Aufl.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Berlin, Freie Univ., Diss., 1996
- Keyword
-
Silicium
Trockenätzen
Lichtinduzierter Effekt
Synchrotronstrahlung
Vakuumultraviolett
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Berlin
- (who)
-
Wiss.-und-Technik-Verl.
- (when)
-
1997
- Creator
-
Streller, Udo
- Table of contents
- Rights
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
11.06.2025, 1:53 PM CEST
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Streller, Udo
- Wiss.-und-Technik-Verl.
Time of origin
- 1997
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