Hochschulschrift
Nasschemische Ätzprozesse zur Mikrostrukturierung des Siliziums für die Mikromechanik
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Dimensions
-
21 cm
- Extent
-
II, 103 S.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Ill., graph. Darst.
Kassel, Gesamthochsch., Diss., 1994
- Keyword
-
Silicium
Nassätzen
Kaliumhydroxid
Kraftsensor
Rasterkraftmikroskopie
Silicium
Wafer
Plasmaätzen
- Creator
-
Shi, Feng
- Table of contents
- Rights
-
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- Last update
-
11.06.2025, 1:39 PM CEST
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Shi, Feng
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