Hochschulschrift

Mikrostrukturierung von porösem Silicium für optische und optoelektronische Anwendungen

Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Dimensions
30 cm
Extent
XII, 138 S.
Language
Deutsch
Notes
Ill., graph. Darst.
Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 1998

Keyword
Silicium
Poröser Stoff
Ionenstrahlätzen
Fotolithografie
Silicium
Poröser Stoff
Lumineszenzdiode
Photodiode
Interferenzfilter
Lichtwellenleiter

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Last update
11.03.2025, 12:04 PM CET

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