Mikrostrukturierung mittels KrF-Excimerlaser

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Umfang
Online-Ressource
Sprache
Deutsch

Schlagwort
Mikrostruktur
Mikrobearbeitung
Ultrakurzzeitlaser
LIGA-Verfahren
Oberflächenbehandlung
Laserablation
Mikrosystemtechnik
Mikrostruktur
Excimerlaser

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Mittweida
(wer)
Bibliothek der Hochschule Mittweida
(wann)
2010
Urheber
Gronau, Stefan
Beteiligte Personen und Organisationen
Weißmantel
Böttcher

URN
urn:nbn:de:bsz:mit1-opus-2927
Rechteinformation
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
14.08.2025, 10:56 MESZ

Datenpartner

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Beteiligte

  • Gronau, Stefan
  • Weißmantel
  • Böttcher
  • Bibliothek der Hochschule Mittweida

Entstanden

  • 2010

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