Hochschulschrift
Prozessinduzierte mechanische Spannungen in TiSi2-Schichten während der Temperung in einem RTP-System
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783183353033
3183353032
- Dimensions
-
21 cm
- Extent
-
IX, 107 S.
- Edition
-
Als Ms. gedr.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Hannover, Univ., Diss., 1993
- Bibliographic citation
-
Fortschrittberichte VDI / 3 / Verein Deutscher Ingenieure ; Nr. 353, Reihe 3
- Keyword
-
Halbleitertechnologie
Titansilicide
Dünne Schicht
Tempern
Mechanische Spannung
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Düsseldorf
- (who)
-
VDI-Verl.
- (when)
-
1994
- Creator
-
Taddiken, Hans
- Table of contents
- Rights
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
11.03.2025, 11:57 AM CET
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Taddiken, Hans
- VDI-Verl.
Time of origin
- 1994
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