Hochschulschrift
Der Stickstoffpartialdruck : eine Grösse zur Prozesskontrolle bei der Herstellung von TiN-Schichten mit Hilfe der PVD-Sputtertechnik
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783181470053
3181470058
- Dimensions
-
21 cm
- Extent
-
V, 124 S.
- Edition
-
Als Ms. gedr.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Bremen, Univ., Diss.
- Bibliographic citation
-
Fortschrittberichte VDI / 5 / Verein Deutscher Ingenieure ; Nr. 270, Reihe 5
- Keyword
-
Titannitrid
Hartstoff
Magnetronsputtern
Stickstoff
Partialdruck
Prozessregelung
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Düsseldorf
- (who)
-
VDI-Verl.
- (when)
-
1992
- Creator
-
Juling, Herbert
- Table of contents
- Rights
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
11.03.2025, 11:39 AM CET
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Juling, Herbert
- VDI-Verl.
Time of origin
- 1992
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